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PMS粒子传感器安全柜
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更新时间:2022-11-21  |  阅读:1961

详情介绍

用于存放化学粒子传感器,借助外部警报检测化学泄漏,并在发生泄漏时提供二级密封保护。在粒子计数器或取样接口内发生化学品泄漏的情况下,系统将自动检测到泄漏,关闭进样口和出样口阀,关闭粒子传感器电源,并触发外部警报。

特点

  • 二级密封防护,聚丙烯结构

  • 用于 15 至 40 °C 的室温加工化学品采样

  • 液体泄漏检测仪

  • 安全切断开关

  • 外部泄漏报警灯与外部触点闭合使泄漏警报器与外部系统实现通信

  • 进样口和出样口关闭阀

  • PFA 气泡分离器可去除大气泡

  • 透明的顶部入口门,带门联锁装置

  • 控制化学品粒子计数器电源开关

  • 两对安装在侧面的手柄

优点

  • 为化学粒子传感器提供了安全密封保护

  • 自动检测化学品泄漏并发出警报

  • 在警报情况下安全关闭化学样品线

应用

粒子监测:

  • 化学品分配系统

  • 半导体制程设备

  • 高纯度化学品包装厂


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