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PMS液体粒子计数S系列
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型号:LiQuilaz® II

更新时间:2022-11-21  |  阅读:1143

详情介绍

LiQuilaz® II 系列液体粒子计数器是体积式粒子计数器,有不同的灵敏度,高灵敏度的粒子计数器可监测小至0.2um的粒子。她们为大多数工艺化学品提供高精密分析,例如氢氟酸和高达306°F (150 °C)的热腐蚀剂。

LiQuilaz II 粒子计数器的测量结果具有准确性、可靠性和重复性,深受客户信任。 LiQuilaz II 粒子计数器具有RS-485和以太网网络通信功能,新功能提高了监测的灵活性,而且使安装变得更加简单。

体积式粒子计数器通过监测100%采样体积(多达80 毫升/分)提供高精确度的结果,所以短时间采样的数据结果也具有统计意义。

特点

  • 特点

  • 0.3 -3.0μm大小区间

  • 流量是80 ± 10% 毫升/分钟

  • 和广泛工艺化学品相兼容

  • 体积小巧,可以轻松安装在制程的任何位置

  • 用户可选择的粒径值

优点

灵敏度: S02: 0.2 – 2.0 µm, S03: 0.3 – 3.0 µm, S05: 0.5 – 20.0 µm

应用

  • 使用压缩采样进行冒泡的化学品测量

  • 化学质量保证

  • 工艺槽监测

  • 去离子水监测

  • 化学品传输系统

  • 光刻胶监测


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