型号：Chem 20
更新时间：2022-11-21 | 阅读：1174
详情介绍
微电子工艺需要非常洁净的工艺化学品，该粒子计数器需要经过高度过滤，适用于≤20nm的粒子。 PMS Chem 20化学式粒子计数器具有20 nm的粒子灵敏度，是目前灵敏度高的高纯度工艺化学品粒子传感器。
来自化学品输送和包装系统的广泛数据证明，与其竞争产品相比，具有20nm灵敏度的PMS Chem 20传感器统计出的颗粒浓度较大，数据具有统计意义。 Chem 20化学颗粒计数器是非常有用的工具，在化学颗粒源影响工艺和设备性能之前，便能够快速检测化学颗粒源。
新增离线采样功能
*激光光学和检测器使检测化学物质的灵敏度达到20 nm
自带化学流量计用于设定样品流量
针对不同折射率的化学品进行监测，以提高数据可靠性：
Chem 20：适用于折射率较低的化学品
Chem 20-HI：适用于硫酸和其他折射指数较高的化学品
内部泄漏监测：在内部化学品泄漏时提供报警
低流量监测器和报警器，以确保数据一致
宏观气泡探测器用于保护传感器性能
本地数据显示
实时监测20 nm PSL和9 nm Au微粒
监测影响良率的粒子（竞争技术无法达到）
在扫描表面或得到数据之前，快速响应粒子偏移
优化化学品输送系统，覆盖从装卸码头到加工节点的整个过程
改善样本的数据统计，加强过程工艺控制
针对不同洁净度的产品，使用两种视图模式优化仪器操作，拓展产品应用空间
传统数据采集系统能够灵活通信
便捷的在线和离线20nm监测
化学输送系统内的实时粒子监测
流程监控点
化学包装操作监控
化学过滤器性能和效率描述
化学处理部件的性能测试
化学品质量验证
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