CGM-3F-PTFE混气系统3路浮子
产品概述:
CGM-3F-PTFE混气系统3路浮子可与管式炉一起放入小烟囱中,更安全。所有被气体润湿的部件都是由PTFE(例如阀、管、混合罐和流量计)制成。用于输送腐蚀性气体,如硫化氢(H2S)和硒化氢(H2Se),用于CVD处理。
浮动仪表:
- 三台聚四氟乙烯材质防腐浮子流量计,流量100-1000ml/min(0.1-1.0l/min)
- 一个机械压力表(混合罐):0~0.05 MPa,(0.02 MPa/砂砾)
阀门:三个由聚四氟乙烯材料制成的针阀,用于控制前面板上的气体出口
储气罐:
- 500毫升聚四氟乙烯气罐
- 内置的气体混合罐将来自三个入口通道的气体混合并混合。
管件:
- 由聚四氟乙烯制成的管件,可接受1/4“管道(尼龙或不锈钢)
- 三个气体入口,每个通道有一个独立的气体流量计。
- 包括20'长1/4“PTFE管,可立即使用
尺寸:
- 紧凑型尺寸:340Lx300DX180H,mm(13.4“x12”x7“)。
- 净重:16磅
航运:
氧气检测:氧传感器可用于监测用于防止或减少氧化的CVD系统中的气体(ES)的氧含量。
注:
- 如果您的CVD处理涉及腐蚀性气体,如H2S,请考虑在您的管式炉上使用聚四氟乙烯法兰
- 另外,请选择耐腐蚀的干式真空泵,而不是油真空泵